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勻膠旋涂儀

簡要描述:英國Ossila公司勻膠旋涂儀,操作簡單,方便實用,旋涂均勻,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,為實驗室提供了理想的解決方案,其采用創(chuàng)新設(shè)計的非真空卡盤式旋涂吸盤,無需真空泵或充氮氣,就能達(dá)到很好的旋涂效果。勻膠旋涂儀可對大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂,尤其是對超薄樣品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時同樣能達(dá)到旋涂效果。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,影響涂層的均勻性。勻膠旋涂儀廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝。

  • 產(chǎn)品型號:L2001
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-25
  • 訪  問  量:3094

詳細(xì)介紹

價格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工,農(nóng)業(yè)

  英國Ossila公司勻膠旋涂儀,操作簡單,方便實用,旋涂均勻,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,為實驗室提供了理想的解決方案,其采用創(chuàng)新設(shè)計的非真空卡盤式旋涂吸盤,無需真空泵或充氮氣,就能達(dá)到很好的旋涂效果。勻膠旋涂儀可對大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂,尤其是對超薄樣品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時同樣能達(dá)到旋涂效果。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,影響涂層的均勻性。勻膠旋涂儀廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝。

  Ossila勻膠旋涂儀控制和顯示:

  1.非常方便設(shè)定處理速度和加速度程序段;可設(shè)置順序循環(huán)控制;

  2.顯示精度控制在設(shè)定值的0.006%以內(nèi)

  3.操作者可隨時隨地自由實現(xiàn)人機交互;

  設(shè)備運轉(zhuǎn)進(jìn)程中,可隨意向前,向后或者往返跳躍操作步驟;

  循環(huán)指令,并可以重復(fù)操作;

  在運轉(zhuǎn)模式下也可以實時改變速度和加速度;

  包含PC程序端接口;

  可視化操作模型(化學(xué)試劑,傳感器所見即所得的操作界面);

  故障報警裝置(可形象顯明故障發(fā)生位置)。

勻膠旋涂儀技術(shù)性能

  • 可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用,基座面積僅為22.5x17cm。
  • 無需真空泵、充氮氣,節(jié)省保養(yǎng)維護(hù)費用。
  • 創(chuàng)新設(shè)計非真空卡盤式吸盤,基材只需放置在卡盤式旋涂托盤適當(dāng)位置,無需抽真空,就能達(dá)到旋涂效果。
  • 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面,堅固的不銹鋼外殼,鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤,使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行。
  • 勻膠旋涂儀采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制,10個用戶自定義協(xié)議,每個協(xié)議下可設(shè)置10個程序,每個程序多50個步驟。
  • 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
  • 電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證運行安全。
  • 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性<2%。
  • 轉(zhuǎn)速120-6000rpm。
  • 定時器1-1000秒。
  • 電源DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
  • 尺寸220x170x132mm。
  • 左:普通旋涂機上有真空密封環(huán)形印跡     右:Ossila非真空式旋涂效果
 

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